Номер извещения: 0373100043826000006

Общая информация о закупке

Внимание! За нарушение требований антимонопольного законодательства Российской Федерации о запрете участия в ограничивающих конкуренцию соглашениях, осуществления ограничивающих конкуренцию согласованных действий предусмотрена ответственность в соответствии со ст. 14.32 КоАП РФ и ст. 178 УК РФ

Способ определения поставщика (подрядчика, исполнителя): Электронный аукцион

Наименование электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: ЭТП ТЭК-Торг

Адрес электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: http://www.tektorg.ru/

Размещение осуществляет: Заказчик ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Наименование объекта закупки: Поставка модуля нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления

Этап закупки: Подача заявок

Сведения о связи с позицией плана-графика: 202603731000438001000019

Контактная информация

Размещение осуществляет: Заказчик

Организация, осуществляющая размещение: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Почтовый адрес: 125412, Г.МОСКВА, вн.тер.г. МУНИЦИПАЛЬНЫЙ ОКРУГ ДМИТРОВСКИЙ, УЛ. ИЖОРСКАЯ, Д. 13, СТР. 6

Место нахождения: 125412, Г.МОСКВА, вн.тер.г. МУНИЦИПАЛЬНЫЙ ОКРУГ ДМИТРОВСКИЙ, УЛ. ИЖОРСКАЯ, Д. 13, СТР. 6

Ответственное должностное лицо: Дудыкина А. Д.

Адрес электронной почты: tender@itae.ru

Номер контактного телефона: 7-495-4842066

Дополнительная информация: Уникальный номер закупки ИТПЭ-491/ак

Регион: Москва

Информация о процедуре закупки

Дата и время начала срока подачи заявок: 02.09.2026 10:04 (МСК)

Дата и время окончания срока подачи заявок: 10.09.2026 11:00 (МСК)

Дата проведения процедуры подачи предложений о цене контракта либо о сумме цен единиц товара, работы, услуги: 10.09.2026

Дата подведения итогов определения поставщика (подрядчика, исполнителя): 11.09.2026

Начальная (максимальная) цена контракта

Начальная (максимальная) цена контракта: 3 073 581,50

Валюта: РОССИЙСКИЙ РУБЛЬ

Идентификационный код закупки (ИКЗ): 261771302054977130100100210062899244

Информация о сроках исполнения контракта и источниках финансирования

Срок исполнения контракта (отдельных этапов исполнения контракта) включает в том числе приемку поставленного товара, выполненной работы, оказанной услуги, а также оплату заказчиком поставщику (подрядчику, исполнителю) поставленного товара, выполненной работы, оказанной услуги

Дата начала исполнения контракта: с даты заключения контракта

Срок исполнения контракта: 30.12.2026

Закупка за счет собственных средств организации: Да

Информация об объекте закупки

Код позиции - Наименование товара, работы, услуги - Ед. измерения - Количество (объем работы, услуги) - Цена за ед., ? - Стоимость, ?

- 28.99.39.190 - Поставка модуля нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления Температурный режим напыления холодный магнетрон Напуск газа равномерный, в разрядную область по периметру мишени Условия эксплуатации магнетрона в закрытых сухих помещениях - Штука - 1,00 - 3 073 581,50 - 3 073 581,50

- Наименование характеристики Значение характеристики Единица измерения характеристики Инструкция по заполнению характеристик в заявке Температурный режим напыления холодный магнетрон Значение характеристики не может изменяться участником закупки Напуск газа равномерный, в разрядную область по периметру мишени Значение характеристики не может изменяться участником закупки Условия эксплуатации магнетрона в закрытых сухих помещениях Значение характеристики не может изменяться участником закупки Водяное охлаждение для ферромагнитных мишеней прямое Значение характеристики не может изменяться участником закупки Возможность одновременной эксплуатации с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Присоединение к трубке подачи газа фитинг Ultra-Torr Значение характеристики не может изменяться участником закупки Расход воды для мишеней прямого охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) ? 1,0 л/мин* Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Расход воды для мишеней косвенного охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) ? 2,0 л/мин* Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Напряжение инициирования разряда (поджиг) 1000 Вольт Значение характеристики не может изменяться участником закупки Интерфейс удаленного управления RS-485 Значение характеристики не может изменяться участником закупки Протокол удаленного управления Modbus RTU Значение характеристики не может изменяться участником закупки Длина мишени, совместимой с магнетроном 227 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Диапазон регулирования частоты повторения импульсов ? 1 и ? 100 Килогерц Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Максимальная толщина мишени из немагнитного материала ? 16 Миллиметр Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Шаг регулирования выходного напряжения 1 Вольт Значение характеристики не может изменяться участником закупки Диапазон выходного тока ? 0.1 и ? 10 Ампер Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Шаг регулирования выходного тока ? 0.01 Ампер Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Тип корпуса 3U Значение характеристики не может изменяться участником закупки Водяное охлаждение для прочих мишеней прямое или косвенное Значение характеристики не может изменяться участником закупки Высота катода 256 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Ширина катода 141 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Толщина катодного узла 57 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Для надежной работы магнетрона, предотвращения пробоев и дугообразования, обеспечения максимальной чистоты процесса распыления, по внешнему контуру катодного узла магнетрона должен применяться экран с регулярным вакуумным зазором, обеспечивающий полное его экранирование, кроме распыляемой поверхности мишени. Экран должен иметь съемную торцевую крышку, с возможностью регулирования ее положения относительно поверхности мишени для удобства работы с мишенями разной толщины и вариациями способа их крепления, а также для удобства очистки без демонтажа всего экрана. Экран магнетрона должен иметь 2 состояния: изолированное и заземленное Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется на присоединительном фланце из нержавеющей стали. Конструктивное исполнение присоединительного узла должно обеспечивать штатное размещение магнетрона с сохранением требуемых координат центра мишени относительно барабана и ориентации относительно имеющегося у Заказчика магнетрона, необходимых для их совместной работы Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Диапазон выходной мощности ? 50 и ? 5000 Ватт Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Шаг регулирования частоты повторения импульсов 1 Килогерц Значение характеристики не может изменяться участником закупки Диапазон регулирования коэффициента заполнения ? 10 и ? 80 Процент Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Длина с учетом держателя катода 270 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Ширина мишени, совместимой с магнетроном 112 Миллиметр Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Ni ? 12 Миллиметр Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Режим распыления DC pulsed (импульсно-периодический) Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Рабочее давление плазмообразующего газа (Ar, Ar+O? и др.) ? 0.08 и ? 6.67 Паскаль Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Напряжение разряда (DC режим) ? -1000 и ? -400 Вольт Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Диапазон относительной влажности ? 40 и ? 75 Процент Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Диапазон атмосферного давления ? 96 и ? 106 Килопаскаль Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Отношение величины электронного тока на анод магнетрона Ie к току разряда Id ? 0.95 Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Режим распыления DC (на постоянном токе) Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Для целей настоящего технического задания под аналогом магнетрона РМ1-227?112/5Fe понимается магнетронное распылительное устройство, которое наряду с соответствием характеристикам настоящего технического задания обеспечивает полную функциональную совместимость с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe при их совместной эксплуатации. Функциональная совместимость должна обеспечиваться в том числе в части взаимного пространственного расположения двух магнетронов относительно барабана и напыляемой подложки; геометрического положения рабочих поверхностей мишеней; положения и геометрии зон эрозии мишеней; конфигурации магнитных систем и создаваемого ими магнитного поля в рабочих зонах магнетронного разряда; условий формирования и пространственного распределения магнетронного разряда; систем охлаждения и подачи плазмообразующего газа; возможности устойчивой одновременной работы двух магнетронов Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Требования к совместимости обусловлены необходимостью совместной работы поставляемого и имеющегося у Заказчика магнетронных распылительных устройств в едином технологическом процессе. Геометрия катодного узла, положение мишени относительно подложки, положение зоны эрозии, конфигурация магнитной системы и условия формирования магнетронного разряда являются взаимосвязанными характеристиками, определяющими пространственное распределение потоков распыляемого материала и заряженных частиц, а также тепловое и электронное воздействие на подложку Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Поставляемый модуль должен обеспечивать технологическую преемственность ранее отработанного Заказчиком процесса получения многослойных наноструктурированных тонкопленочных покрытий при совместном использовании двух магнетронных распылительных устройств. Указанный процесс был отработан при фиксированной геометрии взаимного расположения магнетронов, барабана и подложки и при использовании магнитной системы магнетрона РМ1-227?112/5Fe. Изменение геометрии рабочей зоны, положения зоны эрозии мишени, конфигурации магнитного поля либо пространственного распределения разряда может привести к изменению условий переноса распыляемого материала и формирования покрытия Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Шаг регулирования выходной мощности 10 Ватт Значение характеристики не может изменяться участником закупки Диапазон выходного напряжения ? 50 и ? 1000 Вольт Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Диапазон температуры окружающей среды ? 10 и ? 35 Градус Цельсия Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики Встроенный газораспределитель для равномерного напуска по периметру мишени плазмообразующего газа в разрядную область Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Протяженный планарный магнетрон распылительного устройства (магнетрон) РМ1-227х112/5Fe ИТ287.00.00.000 (или аналог) 1 Штука Значение характеристики не может изменяться участником закупки C внешней стороны вакуумной камеры присоединительный фланец магнетрона с магистралями (водяное охлаждение, подвод мощности питания, подача рабочего газа) должен быть закрыт защитным кожухом с датчиком, по сигналу которого выключается источник питания магнетрона в случае удаления защитного кожуха Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Fe (99,9%) ? 8 Миллиметр Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Частота импульсов в режиме DC pulsed ? 100 Килогерц Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Порог срабатывания дуговой защиты по току 15 Ампер Значение характеристики не может изменяться участником закупки Тип выходного напряжения постоянное, импульсное Значение характеристики не может изменяться участником закупки Поставляемый магнетрон должен обеспечивать возможность совместного магнетронного нанесения многокомпонентных тонкопленочных покрытий с использованием имеющегося магнетрона РМ1-227?112/5Fe без изменения базовой геометрии взаимного расположения двух магнетронов, барабана и напыляемой подложки Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Источник питания магнетрона 1 Штука Значение характеристики не может изменяться участником закупки Регулируемые параметры мощность, напряжение, ток Значение характеристики не может изменяться участником закупки Материал катода нержавеющая сталь Значение характеристики не может изменяться участником закупки Материал изоляторов катодного узла вакуумная керамика Значение характеристики не может изменяться участником закупки Магнитная система модульная, легкоизвлекаемая как единый узел Значение характеристики не может изменяться участником закупки Комплект поставки магнетрона включает: - техническое описание и инструкцию по эксплуатации; - паспорт; - комплект ЗИП Наличие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Магнетрон РМ1-227х112/5Fe (или аналог) должен применяться в составе модуля для магнетронного нанесения многослойных композиций металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, обеспечивая минимальное электронное и тепловое воздействие на подложки различного типа, в том числе на термически нестойкие материалы, при формировании на них наноструктур, являющихся чувствительными элементами систем измерения гигантского комбинационного рассеяния света Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Шаг регулирования коэффициента заполнения 1 Процент Значение характеристики не может изменяться участником закупки Режимы стабилизации мощность, напряжение, ток Значение характеристики не может изменяться участником закупки Время реакции на дуговой пробой 1 Микросекунда Значение характеристики не может изменяться участником закупки Обеспечение совместимости поставляемого магнетрона не должно требовать замены или изменения конструкции имеющегося у Заказчика магнетрона РМ1-227?112/5Fe, изменения его положения относительно барабана и напыляемой подложки либо иной модернизации имеющегося магнетронного распылительного устройства. Допускаются только работы, необходимые для штатного монтажа и подключения поставляемого модуля Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки Максимальный ток разряда (DC режим) 10 Ампер Значение характеристики не может изменяться участником закупки Относительная неравномерность толщины тонкопленочных покрытий в пределах зоны шириной 100 мм на вращающемся барабане ? 15 Процент Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется в дополнение к уже имеющемуся у Заказчика магнетрону РМ1-227?112/5Fe. Конструкция поставляемого магнетрона и его расположение по отношению к барабану с напыляемой подложкой должны обеспечить полную функциональную и конструктивную совместимость двух магнетронов, в том числе согласованность конфигурации их магнитных систем и магнитного поля, необходимую для работы в режиме совместного напыления Соответствие Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Наименование характеристики - Значение характеристики - Единица измерения характеристики - Инструкция по заполнению характеристик в заявке - Температурный режим напыления - холодный магнетрон - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Напуск газа - равномерный, в разрядную область по периметру мишени - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Условия эксплуатации магнетрона - в закрытых сухих помещениях - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Водяное охлаждение для ферромагнитных мишеней - прямое - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Возможность одновременной эксплуатации с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Присоединение к трубке подачи газа - фитинг Ultra-Torr - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Расход воды для мишеней прямого охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) - ? 1,0 л/мин* - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Расход воды для мишеней косвенного охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) - ? 2,0 л/мин* - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Напряжение инициирования разряда (поджиг) - 1000 - Вольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Интерфейс удаленного управления - RS-485 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Протокол удаленного управления - Modbus RTU - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Длина мишени, совместимой с магнетроном - 227 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Диапазон регулирования частоты повторения импульсов - ? 1 и ? 100 - Килогерц - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Максимальная толщина мишени из немагнитного материала - ? 16 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Шаг регулирования выходного напряжения - 1 - Вольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Диапазон выходного тока - ? 0.1 и ? 10 - Ампер - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Шаг регулирования выходного тока - ? 0.01 - Ампер - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Тип корпуса - 3U - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Водяное охлаждение для прочих мишеней - прямое или косвенное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Высота катода - 256 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Ширина катода - 141 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Толщина катодного узла - 57 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Для надежной работы магнетрона, предотвращения пробоев и дугообразования, обеспечения максимальной чистоты процесса распыления, по внешнему контуру катодного узла магнетрона должен применяться экран с регулярным вакуумным зазором, обеспечивающий полное его экранирование, кроме распыляемой поверхности мишени. Экран должен иметь съемную торцевую крышку, с возможностью регулирования ее положения относительно поверхности мишени для удобства работы с мишенями разной толщины и вариациями способа их крепления, а также для удобства очистки без демонтажа всего экрана. Экран магнетрона должен иметь 2 состояния: изолированное и заземленное - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется на присоединительном фланце из нержавеющей стали. Конструктивное исполнение присоединительного узла должно обеспечивать штатное размещение магнетрона с сохранением требуемых координат центра мишени относительно барабана и ориентации относительно имеющегося у Заказчика магнетрона, необходимых для их совместной работы - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Диапазон выходной мощности - ? 50 и ? 5000 - Ватт - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Шаг регулирования частоты повторения импульсов - 1 - Килогерц - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Диапазон регулирования коэффициента заполнения - ? 10 и ? 80 - Процент - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Длина с учетом держателя катода - 270 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Ширина мишени, совместимой с магнетроном - 112 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Ni - ? 12 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Режим распыления DC pulsed (импульсно-периодический) - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Рабочее давление плазмообразующего газа (Ar, Ar+O? и др.) - ? 0.08 и ? 6.67 - Паскаль - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Напряжение разряда (DC режим) - ? -1000 и ? -400 - Вольт - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Диапазон относительной влажности - ? 40 и ? 75 - Процент - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Диапазон атмосферного давления - ? 96 и ? 106 - Килопаскаль - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Отношение величины электронного тока на анод магнетрона Ie к току разряда Id - ? 0.95 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Режим распыления DC (на постоянном токе) - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Для целей настоящего технического задания под аналогом магнетрона РМ1-227?112/5Fe понимается магнетронное распылительное устройство, которое наряду с соответствием характеристикам настоящего технического задания обеспечивает полную функциональную совместимость с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe при их совместной эксплуатации. Функциональная совместимость должна обеспечиваться в том числе в части взаимного пространственного расположения двух магнетронов относительно барабана и напыляемой подложки; геометрического положения рабочих поверхностей мишеней; положения и геометрии зон эрозии мишеней; конфигурации магнитных систем и создаваемого ими магнитного поля в рабочих зонах магнетронного разряда; условий формирования и пространственного распределения магнетронного разряда; систем охлаждения и подачи плазмообразующего газа; возможности устойчивой одновременной работы двух магнетронов - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Требования к совместимости обусловлены необходимостью совместной работы поставляемого и имеющегося у Заказчика магнетронных распылительных устройств в едином технологическом процессе. Геометрия катодного узла, положение мишени относительно подложки, положение зоны эрозии, конфигурация магнитной системы и условия формирования магнетронного разряда являются взаимосвязанными характеристиками, определяющими пространственное распределение потоков распыляемого материала и заряженных частиц, а также тепловое и электронное воздействие на подложку - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Поставляемый модуль должен обеспечивать технологическую преемственность ранее отработанного Заказчиком процесса получения многослойных наноструктурированных тонкопленочных покрытий при совместном использовании двух магнетронных распылительных устройств. Указанный процесс был отработан при фиксированной геометрии взаимного расположения магнетронов, барабана и подложки и при использовании магнитной системы магнетрона РМ1-227?112/5Fe. Изменение геометрии рабочей зоны, положения зоны эрозии мишени, конфигурации магнитного поля либо пространственного распределения разряда может привести к изменению условий переноса распыляемого материала и формирования покрытия - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Шаг регулирования выходной мощности - 10 - Ватт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Диапазон выходного напряжения - ? 50 и ? 1000 - Вольт - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Диапазон температуры окружающей среды - ? 10 и ? 35 - Градус Цельсия - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики - Встроенный газораспределитель для равномерного напуска по периметру мишени плазмообразующего газа в разрядную область - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Протяженный планарный магнетрон распылительного устройства (магнетрон) РМ1-227х112/5Fe ИТ287.00.00.000 (или аналог) - 1 - Штука - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - C внешней стороны вакуумной камеры присоединительный фланец магнетрона с магистралями (водяное охлаждение, подвод мощности питания, подача рабочего газа) должен быть закрыт защитным кожухом с датчиком, по сигналу которого выключается источник питания магнетрона в случае удаления защитного кожуха - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Fe (99,9%) - ? 8 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Частота импульсов в режиме DC pulsed - ? 100 - Килогерц - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Порог срабатывания дуговой защиты по току - 15 - Ампер - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Тип выходного напряжения - постоянное, импульсное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Поставляемый магнетрон должен обеспечивать возможность совместного магнетронного нанесения многокомпонентных тонкопленочных покрытий с использованием имеющегося магнетрона РМ1-227?112/5Fe без изменения базовой геометрии взаимного расположения двух магнетронов, барабана и напыляемой подложки - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Источник питания магнетрона - 1 - Штука - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Регулируемые параметры - мощность, напряжение, ток - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Материал катода - нержавеющая сталь - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Материал изоляторов катодного узла - вакуумная керамика - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Магнитная система - модульная, легкоизвлекаемая как единый узел - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Комплект поставки магнетрона включает: - техническое описание и инструкцию по эксплуатации; - паспорт; - комплект ЗИП - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Магнетрон РМ1-227х112/5Fe (или аналог) должен применяться в составе модуля для магнетронного нанесения многослойных композиций металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, обеспечивая минимальное электронное и тепловое воздействие на подложки различного типа, в том числе на термически нестойкие материалы, при формировании на них наноструктур, являющихся чувствительными элементами систем измерения гигантского комбинационного рассеяния света - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Шаг регулирования коэффициента заполнения - 1 - Процент - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Режимы стабилизации - мощность, напряжение, ток - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Время реакции на дуговой пробой - 1 - Микросекунда - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Обеспечение совместимости поставляемого магнетрона не должно требовать замены или изменения конструкции имеющегося у Заказчика магнетрона РМ1-227?112/5Fe, изменения его положения относительно барабана и напыляемой подложки либо иной модернизации имеющегося магнетронного распылительного устройства. Допускаются только работы, необходимые для штатного монтажа и подключения поставляемого модуля - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Максимальный ток разряда (DC режим) - 10 - Ампер - Значение характеристики не может изменяться участником закупки - Относительная неравномерность толщины тонкопленочных покрытий в пределах зоны шириной 100 мм на вращающемся барабане - ? 15 - Процент - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики - Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется в дополнение к уже имеющемуся у Заказчика магнетрону РМ1-227?112/5Fe. Конструкция поставляемого магнетрона и его расположение по отношению к барабану с напыляемой подложкой должны обеспечить полную функциональную и конструктивную совместимость двух магнетронов, в том числе согласованность конфигурации их магнитных систем и магнитного поля, необходимую для работы в режиме совместного напыления - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Наименование характеристики - Значение характеристики - Единица измерения характеристики - Инструкция по заполнению характеристик в заявке

Температурный режим напыления - холодный магнетрон - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Напуск газа - равномерный, в разрядную область по периметру мишени - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Условия эксплуатации магнетрона - в закрытых сухих помещениях - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Водяное охлаждение для ферромагнитных мишеней - прямое - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Возможность одновременной эксплуатации с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Присоединение к трубке подачи газа - фитинг Ultra-Torr - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Расход воды для мишеней прямого охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) - ? 1,0 л/мин* - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Расход воды для мишеней косвенного охлаждения, на каждый 1 кВт DC мощности (температура воды 20±5°С, давление 2?4 кгс/см?) - ? 2,0 л/мин* - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Напряжение инициирования разряда (поджиг) - 1000 - Вольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Интерфейс удаленного управления - RS-485 - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Протокол удаленного управления - Modbus RTU - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Длина мишени, совместимой с магнетроном - 227 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Диапазон регулирования частоты повторения импульсов - ? 1 и ? 100 - Килогерц - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Максимальная толщина мишени из немагнитного материала - ? 16 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Шаг регулирования выходного напряжения - 1 - Вольт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Диапазон выходного тока - ? 0.1 и ? 10 - Ампер - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Шаг регулирования выходного тока - ? 0.01 - Ампер - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Тип корпуса - 3U - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Водяное охлаждение для прочих мишеней - прямое или косвенное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Высота катода - 256 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Ширина катода - 141 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Толщина катодного узла - 57 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Для надежной работы магнетрона, предотвращения пробоев и дугообразования, обеспечения максимальной чистоты процесса распыления, по внешнему контуру катодного узла магнетрона должен применяться экран с регулярным вакуумным зазором, обеспечивающий полное его экранирование, кроме распыляемой поверхности мишени. Экран должен иметь съемную торцевую крышку, с возможностью регулирования ее положения относительно поверхности мишени для удобства работы с мишенями разной толщины и вариациями способа их крепления, а также для удобства очистки без демонтажа всего экрана. Экран магнетрона должен иметь 2 состояния: изолированное и заземленное - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется на присоединительном фланце из нержавеющей стали. Конструктивное исполнение присоединительного узла должно обеспечивать штатное размещение магнетрона с сохранением требуемых координат центра мишени относительно барабана и ориентации относительно имеющегося у Заказчика магнетрона, необходимых для их совместной работы - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Диапазон выходной мощности - ? 50 и ? 5000 - Ватт - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Шаг регулирования частоты повторения импульсов - 1 - Килогерц - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Диапазон регулирования коэффициента заполнения - ? 10 и ? 80 - Процент - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Длина с учетом держателя катода - 270 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Ширина мишени, совместимой с магнетроном - 112 - Миллиметр - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Ni - ? 12 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Режим распыления DC pulsed (импульсно-периодический) - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Рабочее давление плазмообразующего газа (Ar, Ar+O? и др.) - ? 0.08 и ? 6.67 - Паскаль - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Напряжение разряда (DC режим) - ? -1000 и ? -400 - Вольт - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Диапазон относительной влажности - ? 40 и ? 75 - Процент - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Диапазон атмосферного давления - ? 96 и ? 106 - Килопаскаль - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Отношение величины электронного тока на анод магнетрона Ie к току разряда Id - ? 0.95 - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Режим распыления DC (на постоянном токе) - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Для целей настоящего технического задания под аналогом магнетрона РМ1-227?112/5Fe понимается магнетронное распылительное устройство, которое наряду с соответствием характеристикам настоящего технического задания обеспечивает полную функциональную совместимость с имеющимся у Заказчика магнетроном РМ1-227?112/5Fe при их совместной эксплуатации. Функциональная совместимость должна обеспечиваться в том числе в части взаимного пространственного расположения двух магнетронов относительно барабана и напыляемой подложки; геометрического положения рабочих поверхностей мишеней; положения и геометрии зон эрозии мишеней; конфигурации магнитных систем и создаваемого ими магнитного поля в рабочих зонах магнетронного разряда; условий формирования и пространственного распределения магнетронного разряда; систем охлаждения и подачи плазмообразующего газа; возможности устойчивой одновременной работы двух магнетронов - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Требования к совместимости обусловлены необходимостью совместной работы поставляемого и имеющегося у Заказчика магнетронных распылительных устройств в едином технологическом процессе. Геометрия катодного узла, положение мишени относительно подложки, положение зоны эрозии, конфигурация магнитной системы и условия формирования магнетронного разряда являются взаимосвязанными характеристиками, определяющими пространственное распределение потоков распыляемого материала и заряженных частиц, а также тепловое и электронное воздействие на подложку - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Поставляемый модуль должен обеспечивать технологическую преемственность ранее отработанного Заказчиком процесса получения многослойных наноструктурированных тонкопленочных покрытий при совместном использовании двух магнетронных распылительных устройств. Указанный процесс был отработан при фиксированной геометрии взаимного расположения магнетронов, барабана и подложки и при использовании магнитной системы магнетрона РМ1-227?112/5Fe. Изменение геометрии рабочей зоны, положения зоны эрозии мишени, конфигурации магнитного поля либо пространственного распределения разряда может привести к изменению условий переноса распыляемого материала и формирования покрытия - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Шаг регулирования выходной мощности - 10 - Ватт - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Диапазон выходного напряжения - ? 50 и ? 1000 - Вольт - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Диапазон температуры окружающей среды - ? 10 и ? 35 - Градус Цельсия - Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики

Встроенный газораспределитель для равномерного напуска по периметру мишени плазмообразующего газа в разрядную область - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Протяженный планарный магнетрон распылительного устройства (магнетрон) РМ1-227х112/5Fe ИТ287.00.00.000 (или аналог) - 1 - Штука - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

C внешней стороны вакуумной камеры присоединительный фланец магнетрона с магистралями (водяное охлаждение, подвод мощности питания, подача рабочего газа) должен быть закрыт защитным кожухом с датчиком, по сигналу которого выключается источник питания магнетрона в случае удаления защитного кожуха - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальная толщина сплошной (непрофилированной, не имеющей утоньшений и проточек) распыляемой мишени из ферромагнитного материала Fe (99,9%) - ? 8 - Миллиметр - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Частота импульсов в режиме DC pulsed - ? 100 - Килогерц - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Порог срабатывания дуговой защиты по току - 15 - Ампер - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Тип выходного напряжения - постоянное, импульсное - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Поставляемый магнетрон должен обеспечивать возможность совместного магнетронного нанесения многокомпонентных тонкопленочных покрытий с использованием имеющегося магнетрона РМ1-227?112/5Fe без изменения базовой геометрии взаимного расположения двух магнетронов, барабана и напыляемой подложки - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Источник питания магнетрона - 1 - Штука - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Регулируемые параметры - мощность, напряжение, ток - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Материал катода - нержавеющая сталь - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Материал изоляторов катодного узла - вакуумная керамика - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Магнитная система - модульная, легкоизвлекаемая как единый узел - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Комплект поставки магнетрона включает: - техническое описание и инструкцию по эксплуатации; - паспорт; - комплект ЗИП - Наличие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Магнетрон РМ1-227х112/5Fe (или аналог) должен применяться в составе модуля для магнетронного нанесения многослойных композиций металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, обеспечивая минимальное электронное и тепловое воздействие на подложки различного типа, в том числе на термически нестойкие материалы, при формировании на них наноструктур, являющихся чувствительными элементами систем измерения гигантского комбинационного рассеяния света - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Шаг регулирования коэффициента заполнения - 1 - Процент - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Режимы стабилизации - мощность, напряжение, ток - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Время реакции на дуговой пробой - 1 - Микросекунда - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Обеспечение совместимости поставляемого магнетрона не должно требовать замены или изменения конструкции имеющегося у Заказчика магнетрона РМ1-227?112/5Fe, изменения его положения относительно барабана и напыляемой подложки либо иной модернизации имеющегося магнетронного распылительного устройства. Допускаются только работы, необходимые для штатного монтажа и подключения поставляемого модуля - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Максимальный ток разряда (DC режим) - 10 - Ампер - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Относительная неравномерность толщины тонкопленочных покрытий в пределах зоны шириной 100 мм на вращающемся барабане - ? 15 - Процент - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Магнетрон РМ1-227?112/5Fe (или аналог) поставляется в дополнение к уже имеющемуся у Заказчика магнетрону РМ1-227?112/5Fe. Конструкция поставляемого магнетрона и его расположение по отношению к барабану с напыляемой подложкой должны обеспечить полную функциональную и конструктивную совместимость двух магнетронов, в том числе согласованность конфигурации их магнитных систем и магнитного поля, необходимую для работы в режиме совместного напыления - Соответствие - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Преимущества, требования к участникам

Преимущества: Преимущество в соответствии с ч. 3 ст. 30 Закона № 44-ФЗ - Размер преимущества не установлен

Требования к участникам: 1. Единые требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ 2. Требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1.1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ 3. Требование об отсутствии в реестре недобросовестных поставщиков (подрядчиков, исполнителей) информации, включенной в такой реестр в связи отказом поставщика (подрядчика, исполнителя) от исполнения контракта по причине введения в отношении заказчика санкций и (или) мер ограничительного характера

Применение национального режима по ст. 14 Закона № 44-ФЗ

Применение национального режима по ст. 14 Закона № 44-ФЗ: Основанием для установки указания запретов, ограничений закупок товаров, происходящих из иностранных государств, выполняемых работ, оказываемых услуг иностранными лицами, а так же преимуществ в отношении товаров российского происхождения, а также товаров происходящих из стран ЕАЭС, выполняемых работ, оказываемых услуг российскими лицами, а также лицами, зарегистрированными в странах ЕАЭС, является Постановление Правительства Российской Федерации о мерах по предоставлению национального режима от 23.12.2024 № 1875.

Обеспечение заявки

Требуется обеспечение заявки: Да

Размер обеспечения заявки: 15 367,91 Российский рубль

Порядок внесения денежных средств в качестве обеспечения заявки на участие в закупке, а также условия гарантии: Обеспечение заявки на участие в закупке предоставляется по выбору участника закупки одним из следующих способов: путем блокирования денежных средств, внесенных участником закупки на банковский счет, открытый таким участником в банке, включенном в перечень, утвержденный Правительством РФ (далее - специальный счет) либо путем предоставления независимой гарантии, соответствующей требованиям статьи 45 Закона № 44-ФЗ. Срок действия независимой гарантии должен составлять не менее месяца с даты окончания срока подачи заявок. Участник закупки для подачи заявки на участие в закупке выбирает с использованием электронной площадки способ обеспечения такой заявки путем указания реквизитов специального счета или указания номера реестровой записи из реестра независимых гарантий, размещенного в ЕИС. Независимая гарантия должна быть составлена по соответствующей типовой форме, утвержденной постановлением Правительства РФ от 08.11.2013 № 1005. В случаях, предусмотренных постановлением Правительства РФ от 10.04.2023 № 579, денежные средства в качестве обеспечения заявки могут быть внесены на счет заказчика.

Реквизиты счета для учета операций со средствами, поступающими заказчику: p/c 03214643000000017300, л/c 20736Ц19810, БИК 004525988, ОКЦ № 1 ГУ Банка России по ЦФО//УФК ПО Г. МОСКВЕ, г Москва, к/c 40102810545370000003

Условия контракта

Место поставки товара, выполнения работы или оказания услуги: Российская Федерация, г. Москва, вн.тер.г. муниципальный округ Дмитровский, ул. Ижорская, д. 13, стр. 6

Обеспечение исполнения контракта

Требуется обеспечение исполнения контракта: Да

Размер обеспечения исполнения контракта: 0,5 %

Порядок предоставления обеспечения исполнения контракта, требования к обеспечению: Обеспечение исполнения контракта предоставляется по выбору участника закупки одним из следующих способов: путем внесения денежных средств на счет заказчика, указанный ниже, либо путем предоставления независимой гарантии, соответствующей требованиям статьи 45 Закона 44-ФЗ. Срок действия независимой гарантии должен превышать предусмотренный контрактом срок исполнения обязательств, которые должны быть обеспечены такой независимой гарантией, не менее чем на один месяц, в том числе в случае его изменения в соответствии со статьей 95 Закона 44-ФЗ. Независимая гарантия должна быть составлена по соответствующей типовой форме, утвержденной постановлением Правительства РФ от 08.11.2013 № 1005. Документ, подтверждающий предоставление обеспечения исполнения контракта участник закупки размещает на электронной площадке одновременно с размещением подписанного со своей стороны проекта контракта.

Платежные реквизиты для обеспечения исполнения контракта: p/c 03214643000000017300, л/c 20736Ц19810, БИК 004525988, ОКЦ № 1 ГУ Банка России по ЦФО//УФК ПО Г. МОСКВЕ, г Москва, к/c 40102810545370000003

Требования к гарантии качества товара, работы, услуги

Требуется гарантия качества товара, работы, услуги: Да

Срок, на который предоставляется гарантия и (или) требования к объему предоставления гарантий качества товара, работы, услуги: Гарантийный срок эксплуатации Товара, определяется гарантией производителя Товара, подтверждается документами от производителя Товара и исчисляется с момента подписания Сторонами документа о приемке в ЕИС.

Информация о банковском и (или) казначейском сопровождении контракта

Банковское или казначейское сопровождение контракта не требуется

Документы

Общая информация

Документы

Журнал событий