Общая информация

Номер извещения: 0327100007024000010

Наименование объекта закупки: Поставка установки реактивно-ионного плазмохимического травления для ФГБОУ ВО "Брянский государственный технический университет"

Способ определения поставщика (подрядчика, исполнителя): Электронный аукцион

Наименование электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: АО «Сбербанк-АСТ»

Адрес электронной площадки в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»: http://www.sberbank-ast.ru

Размещение осуществляет: Заказчик ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"

Контактная информация

Организация, осуществляющая размещение: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"

Почтовый адрес: Российская Федерация, 241035, Брянская обл, Брянск г, БУЛЬВАР 50 ЛЕТ ОКТЯБРЯ, 7

Место нахождения: Российская Федерация, 241035, Брянская обл, Брянск г, Б-Р 50 ЛЕТ ОКТЯБРЯ, Д.7

Ответственное должностное лицо: Жигалова Ю. А.

Адрес электронной почты: tender.bgtu@yandex.ru

Номер контактного телефона: 8-4832-588371

Факс: Информация отсутствует

Дополнительная информация: Информация отсутствует

Информация о процедуре закупки

Дата и время окончания срока подачи заявок: 06.05.2024 09:00

Дата проведения процедуры подачи предложений о цене контракта либо о сумме цен единиц товара, работы, услуги: 06.05.2024

Дата подведения итогов определения поставщика (подрядчика, исполнителя): 08.05.2024

Условия контракта

Начальная (максимальная) цена контракта: 68000000.00 Российский рубль

Информация о сроках исполнения контракта и источниках финансирования

Дата начала исполнения контракта: с даты заключения контракта

Дата окончания исполнения контракта: 28.12.2024

Закупка за счет бюджетных средств: Нет

Закупка за счет собственных средств организации: Да

Финансовое обеспечение закупки

Всего: - Оплата за 2024 год - Оплата за 2025 год - Оплата за 2026 год - Сумма на последующие годы

68000000.00 - 68000000.00 - 0.00 - 0.00 - 0.00

Этапы исполнения контракта

Контракт не разделен на этапы исполнения контракта

Финансирование за счет внебюджетных средств

Всего: - Оплата за 2024 год - Оплата за 2025 год - Оплата за 2026 год - Сумма на последующие годы

68000000.00 - 68000000.00 - 0.00 - 0.00 - 0.00

Код видов расходов - Сумма контракта (в валюте контракта)

на 2024 год - на 2025 год - на 2026 год - на 2027 год

1 - 2 - 3 - 4 - 5

244 - 68000000 - 0 - 0 - 0

Итого - 68000000.00 - 0.00 - 0.00 - 0.00

Код видов расходов: Сумма контракта (в валюте контракта)

Идентификационный код закупки: 241323200027832570100100150102899244

Место поставки товара, выполнения работы или оказания услуги: Российская Федерация, Брянская обл, Брянск г, 241035 г. Брянск ул. Брянской Пролетарской Дивизии д.36, Учебно-лабораторный корпус №1

Предусмотрена возможность одностороннего отказа от исполнения контракта в соответствии со ст. 95 Закона № 44-ФЗ: Да

Объект закупки

Установка реактивно-ионного плазмохимического травления Идентификатор: 149451943 - 28.99.20.290 - - - - - 1 - Штука - 68000000.00 - 68000000.00

основной блок - наличие моторизованной системы трансфера образца из шлюзовой камеры в процессную камеру - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

максимальный диаметр пластины, перегрузку которой можно осуществлять из шлюзовой камеры в процессную камеру не менее 100мм

длина шлюзовой камеры не менее 600мм не более 650мм

ширина шлюзовой камеры не менее 300мм не более 400мм

высота шлюзовой камеры не менее 200мм не более 250мм

длина полозьев штанги перегрузчика образца из шлюзовой камеры в процессную не более 500мм

насос для шлюзовой камеры производительностью не менее 30 куб. метров в час

наличие фильтра масляного тумана для форвакуумного насоса для шлюзовой камеры

наличие алюминиевой крепежной внутренней рамы

наличие системы контроля уровней доступа (пользователь, администратор)

наличие режима отображения статуса установки в реальном времени

наличие режимов одноэтапного травления

наличие режима травления в несколько шагов

типы используемых газов: CF4, Cl2, BCl3, Ar, O2 и другие

наличие возможности продувки камеры азотом

наличие возможности подачи сжатого воздуха

материалы, которые установка позволяет травить: Si, SiO2, SiNx, SiC, III-V (A3B5), Al, Ti, TiN, органические соединения – фоторезист, РММА, PDMS

скорость травления кремния не менее 200нм в минуту

скорость травления алюминия не менее 200нм в минуту

скорость травления титана не менее 200нм в минуту

скорость травления нитрида титана не менее 200нм в минуту

шероховатость поверхности после травления не более 3нм

возможность контролировать температуру образца в температурном диапазоне от 10 градусов Цельсия до температуры окружающего помещения

точность контроля температуры образца в температурном диапазоне от 10 градусов Цельсия до температуры окружающего помещения: ± 1 градус Цельсия

возможность контролировать температуру электрода в температурном диапазоне от минус 20 градусов Цельсия до температуры окружающего помещения

точность контроля температуры электрода в температурном диапазоне от минус 20 градусов Цельсия до температуры окружающего помещения: ± 1 градус Цельсия

наличие возможности нагрева камеры в температурном диапазоне: от температуры окружающего помещения до 80 градусов Цельсия

наличие системы водяного охлаждения столика образца

наличие процессной камера с системой откачки вбок и вниз

высота процессной камеры не менее 250мм не более 300мм

объем процессной камеры (вместе с фланцами и дополнительными пространствами между камерой и насосом) не более 45 литров

столик образцов диметром не менее 180мм

максимальный размер пластины, которую можно разместить на столике не менее 180мм

максимальный размер пластины полная площадь которой будет подвергаться процессу ионного травления диаметр не менее 150мм

наличие источника плазмы

частота источника плазмы в диапазоне от 13.50 МГц до 13.60 МГц

максимальная мощность источника плазмы не менее 600Вт

наличие блока подавления электромагнитных помех

наличие активных осей X, Y, Z компенсации колебаний электромагнитного поля в области процессной камеры

наличие трех-осевого сенсора электромагнитного поля в едином блоке

диапазон измерения поля датчиками от -70мкТл до +70мкТл

частотный диапазон подавляемых электромагнитных помех от 0,001 до 150Гц

подавление переменного электромагнитного поля и изменений постоянного магнитного поля должно осуществляется по трем осям (X, Y, Z) в области процессной камеры

возможность регулировки мощности источника плазмы с шагом не более 1Вт

наличие устройства автоматического согласования импедансов

наличие контроллера подавления электромагнитных полей по трем осям в области процессной камеры

наличие клапана для автоматического контроля давления в камере во время процесса

остаточное давление, обеспечиваемое системой не более 5*10^-4 Па

наличие коррозионностойкой вакуумной системы

коррозионностойкий турбомолекулярный насос производительностью не менее 1200 литров в секунду

скорость вращения турбины в турбомолекулярном насосе не менее 26000 оборотов в минуту

остаточное давление в процессной камере через 30 минут после выключения насосной группы не более 70 торр

тип изолирующих клапанов: пневматические

высоковакуумный клапан с электрическим управлением

количество регуляторов расхода газа не менее 5 штук

наличие газовых линий в коррозионностойком исполнении

диапазон потоков, при которых работают регуляторы расхода газа от 0 до 300 стандартных кубических сантиметров в минуту

наличие управляющей рабочей станции

наличие модуля управления на основе тачскрина

диагональ тачскрина не менее 15 дюймов

наличие шлюзовой камеры

наличие набора датчиков для контроля давления в шлюзовой камере

габаритные размеры основного блока: не более 1600мм х 1000мм х 1500мм

масса основного блока не более 550кг

размер процессной камеры (внутренний диаметр) не менее 300мм не более 350мм

скруббер газовый жидкостный - производительность скруббера не менее 190 литров в час - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

входное давление очищаемых газов: 500Па

наличие автоматического управления скруббером

входной фланец КФ40 не менее 2 каналов

выходной фланец КФ50 не менее 1 канала

наличие сенсорной панели оператора

масса скруббера не более 200 кг

энергопотребление скруббера не более 1,5кВт

скруббер не должен требовать наличия специальной вентиляции и канализации

установка реактивно-ионного плазмохимического травления - предназначена для прецизионного травления слоев исследуемых образцов полупроводниковых структур: Si, SiO2, SiNx, SiC, III-V (A3B5), металлов, органических соединений - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

тип установки - отдельно стоящая

Установка состоит из: 1) Основного блока (1 шт.); 2) Насоса (1 шт.); 3) Компрессора (1 шт.); 4) Охладителя (1шт.); 5) Скруббера (1 шт.); Системы обеспечения технологическими газами с набором баллонов (1 шт.). К установке прилагается Паспорт и Гарантийный талон

требования к сопутствующим услугам - В стоимость товара включены сборка, монтаж, подключение, пуско-наладка оборудования (товара), инструктаж специалистов (представителей Заказчика) по основам работы на оборудовании (товаре). Услуги осуществляются на территории Заказчика - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Насос - Коррозионностойкий форвакуумный - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

Производительность не менее 110 кубических метров в час

Наличие фильтра масляного тумана

система обеспечения технологическими газами с набором баллонов, с системой детектирования утечек - система обеспечения технологическими газами должна быть совместима с комплексом плазмо-химического послойного травления и химико-механической полировки и планаризации полупроводниковых структур RIE-Failure analysis machine (MD FA100E-RIE) - - Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики

наличие шкафа с ручным управлением

наличие панелей для редуцирования давления не менее 7 штук

наличие набора технологических газов в баллонах: газы: N2, Ar, O2, CL2, BCl3, CF4, He.

газовая линия для хлорида бора должна быть оборудована системой обогрева

наличие газовой линии для Cl2

газовые трубопроводы должны быть изготовлены из труб из нержавеющей стали

конструкция трубопроводов должна обеспечивать возможность контроля герметичности гелиевым течеискателем

требования к товару - Поставляемый товар должен быть новым товаром (товаром, который не был в употреблении, в ремонте, в том числе, который не был восстановлен, у которого не была осуществлена замена составных частей, не были восстановлены потребительские свойства). Товар должен обеспечивать предусмотренную производителем функциональность. Товар должен принадлежать Поставщику на праве собственности, не состоять в судебном споре, быть никому не продан, не подарен, не находится под залогом, свободным от обременения третьими лицами, под арестом или иным запретом не состоять. Товар должен быть передан Заказчику готовым к работе (использованию), не требующим дополнительных затрат на приобретение опций, расходных материалов для проведения пусконаладочных работ - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

требования к упаковке - товар должен поставляться в упаковке, которая соответствует требованиям соответствующих государственных стандартов, при поставке импортного товара - международным стандартам упаковки. Упаковка должна обеспечивать сохранность товара во время его транспортировки, погрузо-разгрузочных работ до приемки товара Заказчиком. Упаковка товара должна быть надлежащим образом маркированной в соответствии с государственными стандартами, при поставке импортного товара – в соответствии с международными стандартами упаковки - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

требования к безопасности - товар должен соответствовать Государственным стандартам, санитарным нормам, утвержденным федеральным органом исполнительной власти по государственному надзору в области стандартизации и сертификации, федеральным органом исполнительной власти в области государственного санитарно-эпидемиологического надзора в соответствии с их компетенцией и в установленном законодательством Российской Федерации порядке - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

требования к отгрузке - доставка осуществляется силами и за счет средств поставщика, стоимость доставки, упаковки, погрузки и разгрузки включается в общую стоимость договора. Исполнитель несет все риски, связанные с хранением товара до момента передачи его заказчику. - - Значение характеристики не может изменяться участником закупки

Обеспечение заявки

Требуется обеспечение заявки

Размер обеспечения заявки

340000.00 Российский рубль

Порядок внесения денежных средств в качестве обеспечения заявки на участие в закупке, а также условия гарантии

С соблюдением требований ст.44 Федерального закона № 44-ФЗ обеспечение заявки на участие в закупке предоставляется одним из следующих способов: а) путем блокирования денежных средств, внесенных участником закупки на банковский счет, открытый таким участником в банке, включенном в перечень, утвержденный Правительством РФ. Требования к таким банкам, к договору специального счета, к порядку использования имеющегося у участника закупки банковского счета в качестве специального счета устанавливаются Правительством РФ; б) путем предоставления независимой гарантии, соответствующей требованиям ст. 45 Федерального закона № 44-ФЗ;

Реквизиты счета для учета операций со средствами, поступающими заказчику

Реквизиты счета для учета операций со средствами, поступающими заказчику

"Номер расчётного счёта"00000000000000000000

"Номер лицевого счёта"См. прилагаемые документы

"Код поступления" Информация отсутствует

"БИК"000000000

"Наименование кредитной организации" Информация отсутствует

"Номер корреспондентского счета" Информация отсутствует

Реквизиты счета для перечисления денежных средств в случае, предусмотренном ч.13 ст. 44 Закона № 44-ФЗ (в соответствующий бюджет бюджетной системы Российской Федерации)

ИНН получателя

3232000278

КПП получателя

325701001

КБК доходов

Информация отсутствует

ОКТМО

15701000

Номер единого казначейского счета

40102810245370000019

Номер казначейского счета

03100643000000012700

БИК ТОФК

011501101

Получатель

УПРАВЛЕНИЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО КАЗНАЧЕЙСТВА ПО БРЯНСКОЙ ОБЛАСТИ (ФГБОУ ВО "БГТУ", БГТУ, БГТУ (БИТМ), ФГБОУ ВО "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ", БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ")

Обеспечение исполнения контракта

Требуется обеспечение исполнения контракта

Размер обеспечения исполнения контракта

5.00%

Порядок обеспечения исполнения контракта, требования к обеспечению

Исполнение контракта может обеспечиваться предоставлением независимой гарантии, соответствующей требованиям статьи 45 Федерального закона № 44-ФЗ, или внесением денежных средств на указанный заказчиком счет, на котором в соответствии с законодательством Российской Федерации учитываются операции со средствами, поступающими заказчику. Способ обеспечения исполнения контракта, гарантийных обязательств, срок действия независимой гарантии определяются в соответствии с требованиями Федерального закона № 44-ФЗ участником закупки, с которым заключается контракт, самостоятельно. При этом срок действия независимой гарантии должен превышать предусмотренный контрактом срок исполнения обязательств, которые должны быть обеспечены такой независимой гарантией, не менее чем на один месяц, в том числе в случае его изменения в соответствии со статьей 95 Федерального закона № 44-ФЗ. Контракт заключается после предоставления участником закупки, с которым заключается контракт, обеспечения исполнения контракта в соответствии с Федеральным законом № 44-ФЗ.

Платежные реквизиты

"Номер расчётного счёта"00000000000000000000

"Номер лицевого счёта"См. прилагаемые документы

"Код поступления" Информация отсутствует

"БИК"000000000

"Наименование кредитной организации" Информация отсутствует

"Номер корреспондентского счета" Информация отсутствует

Требования к гарантии качества товара, работы, услуги

Требуется гарантия качества товара, работы, услуги

Да

Информация о требованиях к гарантийному обслуживанию товара

В течение гарантийного срока Поставщик обязан за свой счет устранить недостатки, выявленные в Товаре, или заменить Товар, если не докажет, что недостатки возникли в результате нарушения Заказчиком правил эксплуатации Товара.

Требования к гарантии производителя товара

Срок, на который предоставляется гарантия и (или) требования к объему предоставления гарантий качества товара, работы, услуги

Гарантийный срок на Товар составляет 12 (двенадцать) месяцев со дня подписания документов о приемке. Гарантия на данный Товар начинает действовать со дня подписания документов о приемке.

Обеспечение гарантийных обязательств

Требуется обеспечение гарантийных обязательств

Размер обеспечения гарантийных обязательств

68000.00 Российский рубль

Порядок предоставления обеспечения гарантийных обязательств, требования к обеспечению

Гарантийные обязательства могут обеспечиваться предоставлением независимой гарантии, выданной банком или организацией, указанной в ч.1 ст.45 Федерального закона № 44-ФЗ в соответствии со статьей 45 Федерального закона N 44-ФЗ, или внесением денежных средств на указанный в Контракте счет. Способ обеспечения гарантийных обязательств определяется Поставщиком самостоятельно.

Платежные реквизиты

"Номер расчетного счета"00000000000000000000

"Номер лицевого счета"См. прилагаемые документы

"Код поступления" Информация отсутствует

"БИК"000000000

"Наименование кредитной организации" Информация отсутствует

"Номер корреспондентского счета" Информация отсутствует

Дополнительная информация

предупреждение об административной и уголовной ответственности за нарушение требований антимонопольного законодательства Российской Федерации о запрете участия в ограничивающих конкуренцию соглашениях, осуществления ограничивающих конкуренцию согласованных действий.

Информация о банковском и (или) казначейском сопровождении контракта

Банковское или казначейское сопровождение контракта не требуется

Перечень прикрепленных документов

Обоснование начальной (максимальной) цены контракта

1 Приложение №2 НМЦК_установка-реактивно-ионного-плазмохимического-травления

Проект контракта

1 Приложение №3 Проект Контракта_ травление

Описание объекта закупки

1 Приложение №1 ООЗ установка травления

Требования к содержанию, составу заявки на участие в закупке

1 Приложение №4_Требования к заявки и инструкция (устан. травл.)

Дополнительная информация и документы

Ссылки

Общая информация

Документы

Журнал событий